用途:
混合型抛光树脂应用于半导体设备和其他电子级产品。
优势:
高纯度、低TOC、产生极低有机或无机物杂质波漏。
【注】树脂可作用于建议数据以外,但结果可能不是最佳的。如依照上述建议操作条件及建议入水条件使用,无效退货退款。
项目 | 强酸阳离子树脂(H+) | 强硷阴离子树脂(OH-) |
总交换容量 | ≥1.8eg/L | ≥1.0eg/L |
阳阴树脂体积比 | 1:1.5 | |
含水率 | 44(H+) | 56(OH-) |
探水水质 | 探水水质达18MΩ-cm以上 | |
TOC测试 | 出水≤5ppb | |
SiO2测试 | 出水≤3ppb |
建议操作条件 | |
操作温度 | 15~25℃ |
最小床深 | 900mm |
体积流速 | 30~50 BV/h |
线性流速 | 120m/h at 35~50℃ |
建议入水条件 | |
入水水质 | >17MΩ-cm |
入水总有机碳浓度(TOC) | <20ppb |