394
次阅读

UP6150抛光树脂是一种用于超纯水制备的抛光混床树脂。它通常用于半导体和微电子行业的最终水处理阶段，以去除痕量的离子和污染物。

台湾安可立公司研发生产的ACL-UP1810硅芯片级抛光树脂可替代UP6150超纯水抛光树脂。关于ACL-UP1810硅芯片级抛光树脂的特性如下：

商品介绍：「ACL-UP1810硅芯片级抛光树脂」高纯度(TOC≦5ppb)凝胶型均匀颗粒，混和型树脂。该产品作用在生产用水及超纯水的最终抛光选择。

用途：

混合型抛光树脂应用于半导体设备和其他电子级产品。

优势：

高纯度、低TOC、产生极低有机或无机物杂质波漏。

项目	强酸阳离子树脂(H+)	强硷阴离子树脂(OH-)
总交换容量	≥1.8eg/L	≥1.0eg/L
阳阴树脂体积比	1:1.5
含水率	44(H+)	56(OH-)
探水水质	探水水质达18MΩ-cm以上
TOC测试	出水≤5ppb
SiO2测试	出水≤3ppb

建议操作条件
操作温度	15~25℃
最小床深	900mm
体积流速	30~50 BV/h
线性流速	120m/h at 35~50℃

建议入水条件
入水水质	>17MΩ-cm
入水总有机碳浓度(TOC)	<20ppb

【注】树脂可作用于建议数据以外，但结果可能不是最佳的。